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  • 商品名称: 真空装置、机器
  • 商品型号: 5-2-001
  • 上架时间: 2012-02-22
  • 浏览次数: 650
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华尔卡
产品编号
产品名称/
内 容
用 途 尺寸・形状
(3DU) 动态波纹管汽缸
使用 M 系列动态波纹管作为驱动部密封,是活塞杆密封的清洁性、耐腐蚀性、耐久性优秀的汽缸。
用于各种半导体制造装置、各种液晶制造装置、其他真空装置等的腔内的驱动部。
→ 详细规格
(3DU) 洁净螺栓 
对 JIS B1176 不锈钢内六角螺栓(A2 钢)施以特殊研磨处理的带气孔螺栓,气体排出量少,表面不会附着油脂。另外,由于表面光滑而不易发生咬死。同时还备有清洁规格的螺母、弹簧垫圈、平垫圈。
用于各种半导体制造装置、各种液晶制造装置、其他真空装置以及分析设备等,特别适用于真空领域(腔内)。

→ 详细规格

• 登载的产品介绍引用2009年12月数据信息制作而成。如需要最新信息请进入咨询页面与我们联系。
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• 登载的使用温度、压力范围引用本公司测试数据及实际业绩制作而成,不包括任何假设条件。
  关于不同用途时的使用性可进入咨询页面与我们联系。
• 登载的产品如发生性能提高等信息更新时,恕不另行通知。

 
● 动态波纹管汽缸详细规格
 标准行程                                         (单位:mm)
型号
行程
汽缸直径
活塞杆直径
法兰
VC50-20
20
50
15
CF70
VC50-30
30
50
15
CF70
VC50-50
50
50
15
CF70
VC63-30
30
63
25
CF70
VC63-50
50
63
15
CF70
VC80-50
50
80
20
CF114
VC80-75
75
80
20
CF114
 
● 洁净螺栓详细规格
标准尺寸              〔単位:mm〕
(1) M3×4,5,6,8,10
(2) M4×5,6,8,10,12,16,18,20,25
(3) M5×6,8,10,12,16,18,20,25
(4) M6×8,10,12,16,18,20,25,30
(5) M8×12,16,18,20,25,30
(6) M10×20,25,30
 

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